Den første metal-oxid-halvleder (MOS) transistor blev opfundet i 1959 af Mohamed M. Atalla og Dawon Kahng på Bell Labs. MOSFET (metal-oxid-semiconductor field-effect transistor) blev opfundet af Kahng og Atalla i 1959, og den første kommercielle CMOS (komplementær MOS) enhed blev produceret i 1968 af Fairchild Semiconductor.