Størrelsen på en Pentium III CPU L1 -cache varierer afhængigt af den specifikke model.
* De fleste Pentium III -processorer har en 16 kb L1 -datacache og en 8 kb L1 -instruktionscache, i alt 24 kb.
Der er dog nogle undtagelser:
* Tidlige Pentium III -modeller (coppermine) kunne have en 16 kb L1 -datacache og en 16 kb L1 -instruktionscache, i alt 32 kb.
* Senere Pentium III -modeller (Tualatin) kan have en 32 kb L1 -datacache og en 32 kb L1 -instruktionscache, i alt 64 kb.
Derfor er det bedst at kontrollere de specifikke specifikationer for din Pentium III -processor for at bestemme den nøjagtige størrelse af dens L1 -cache. Du kan normalt finde disse oplysninger i CPU-Z-softwaren eller processorens datablad.