The Semiconductor Industry Association ( SIA ) repræsenterer 90 procent af halvleder-produkter fremstillet i USA. Den multi- milliard dollar halvlederindustrien sælger millioner af bittesmå computermikrochips , som er oprettet med plasma elektroder. Typer af plasma elektroder er : induktion koblede , mikroovn eller radio bølge elektroder. Plasma elektroder i bunden af ovnen aksler , nå temperaturer over 6.000 grader celsius . Plasma elektroder fordampe metal , som frakker kobber eller silikone danner halvledere . Elektrisk udladning Plasma elektroder
Plasma elektroder frigive elektrisk strøm gennem et stof, der ikke leder elektricitet . Air isolerer . Det ikke leder elektricitet , men en flere tusinde volt elektrisk felt igennem normalt isolerende luft , skaber nitrogen , oxygen og andre gasformige ioner . Plasmaet elektrode forårsager negativt ladede elektroner til at bryde væk fra nitrogen eller oxygen atomer og lader de positivt ladede ioner. De ioner og elektroner ( plasma) bevæger separat gennem den høje spænding skaber en elektrisk strøm . Plasma leder elektrisk strøm .
Vaccuum Arc Plasma Elektroder
Vacuum bue elektriske udladninger bruger plasma belægninger i metallurgi og som plasma film. De vakuum buer er fra parrede højspændingselektroder i et vakuumkammer . Den elektriske lysbue bærer ioniseret plasma og dirigerer magnetiske bue at belægge en mikrochip overflade . Lysbuen kan rettes med et magnetisk felt . Coating mikrochips med et opladet plasmalysbue er en proces, der kaldes " vakuum bue deposition. " Flydende metal dråber spray fra elektroderne overflade , der forringer kvaliteten af den tynde plasmacoatingteknologi . De inkonsekvente dråber fjernes fra plasmaet stråle ved at hindre strømmen af plasma bue mellem elektroden og halvlederindustrien overflade . Denne proces kaldes " filtreret vacuum arc deposition. "
Corona og glødeudladning elektroder
Corona elektrisk udladning er en delvis inhomogent elektrisk udladning . Corona elektrisk udladning er skabt af en høj spænding elektrisk felt nær en skarp elektrode . Corona er en lav strøm, høj spænding decharge. Glow udledninger er flere hundrede volt og 1 ampere strøm. Den lave ioniseret strøm forstærkes i sammenstød med andre partikler. Den forstærkning skaber sekundære elektroner . Elektriske udladninger er også skabt af mikrobølgeovn eller laser bølger med eller uden elektroder.
Kapacitivt koblet plasma ( CCP) Elektroder
kapacitivt koblet plasma ( CCP) elektrode er faktisk to plasma elektroder med lidt afstand mellem dem inde i en reaktor . Tryk fra gas inde i reaktoren , kan være lavere end trykket af atmosfæren . En CCP elektrode dirigerer radiobølger , som regel på 13,56 MHz. Et plasma elektrode er fastgjort til den elektriske effekt , og den anden er jordelektroden . CCP er sat elektroder parallelt og plasma dannet på denne måde, er kapacitivt koblet plasma. Kapacitivt koblet plasma tider producerer lys samtidig med at generere plasma med en kondensator . Elektroner bombardere en elektrode hurtigt blive negativt ladet , og de skaber sekundær plasma strøm i tillæg til vekselstrøm . En direkte strømelektrode ophidser elektroner og afgifter ioner. Dette microprocess deponerer en tynd plasma film på en elektrode . Halvledere fra CCP kan være ætset .
